TALLINNA TEHNIKAÜLIKOOLI
RAAMATUKOGU DIGIKOGU
tuvastatud kui külaline  
 

Vaadatud 277 kord(a)
Alla laetud 30 kord(a) alates 1.01.2018

(0.2 MB)

Pealkiri Pooljuhtkilede paksuse mõõtmine ja kaardistamine spektroskoopilise reflektomeetria abil. Semiconductor films' thickness measurement and mapping using spectroscopic reflectometer 
Autor Kukk, Mart 
Märksõnad magistritööd
master's theses 
Kirjeldus Lühikokkuvõte
Abstract 
Juhendaja Kärber, Erki ; Mere, Arvo 
Kaitsmiskuupäev 12.06.2015 
Keel est 
Õigused Avalikustamisele mittekuuluv lõputöö. Lõputööga on võimalik tutvuda teaduskonnas/asutuses kohapeal
Restricted access. Available at academic unit, please contact staff for more information 
Asutus Tallinna Tehnikaülikool
Tallinn University of Technology 
Teaduskond Matemaatika-loodusteaduskond
Faculty of Science 
Instituut / kolledž Füüsikainstituut
Department of Physics